1 | 高分辨率显微镜光学系统 |
2 | 兼容双面快速视觉检测 |
3 | 高精度XYR精密平台 |
4 | CAD图形比对 |
5 | MAPPING图输出 |
设备型号 | WN800 | |||
检测系统 | 高速高帧率面阵相机;精密平台;同轴,低角度,多种光源组合 | |||
检测精度(um) | 2 | |||
产品定位精度(um) | 2 | |||
兼容产品尺寸 | 6寸,8寸,可定制12寸 | |||
上料方式 | 全自动上料,支持2个FOUP,可定制4个FOUP | |||
台面称重(kg) | 10 | |||
电源及气压 | AC 220V,5KW/0.5~0.8MPa | |||
外形尺寸 | 2000*2000*1900 | |||
设备重量 | 1500 | |||
软件(自主开发) | CVLD Pro V1.0 |